河南凈化工程產(chǎn)品（如硅片等）控制所接觸大氣的清潔度和溫濕度，使產(chǎn)品在良好的環(huán)境空間內(nèi)生產(chǎn)制造。這個(gè)空間的設(shè)計(jì)和建造過程可以稱為凈化工程。

河南凈化工程分類

湍流空氣從空調(diào)箱通過潔凈室內(nèi)的風(fēng)道和空氣過濾器（HEPA）進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)的墻板或活動(dòng)地板隔開。

回風(fēng)。由于非線性運(yùn)動(dòng)，氣流處于不規(guī)則湍流或渦流狀態(tài)。這種類型適用于1000-100000級(jí)的潔凈室。

優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡單，系統(tǒng)建設(shè)成本低，無塵室易于擴(kuò)建，在一些特殊用途的場(chǎng)所，可配合使用無塵工作臺(tái)，提高無塵室的水平。

缺點(diǎn)：產(chǎn)生的粉塵顆粒不易在室內(nèi)空間排出，容易污染工藝產(chǎn)品。此外，如果系統(tǒng)停止并重新啟動(dòng)，通常需要很長時(shí)間才能達(dá)到所需的清潔度。

層流氣流移動(dòng)成一條均勻的直線?？諝馔ㄟ^覆蓋率100%的過濾器進(jìn)入室內(nèi)，從高架地板或兩側(cè)的隔板返回。該機(jī)型適用于潔凈室等級(jí)需要設(shè)置較高的環(huán)境，一般潔凈室等級(jí)為Class1~100。它可以分為兩種：

(1)水平層流：水平空氣從過濾器向一個(gè)方向吹出，由對(duì)面墻的回風(fēng)系統(tǒng)返回，粉塵隨風(fēng)向排出室外。一般來說，下游污染更嚴(yán)重。

河南凈化工程優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡單，運(yùn)行后短時(shí)間內(nèi)即可穩(wěn)定。

(2)垂直層流：房間的天花板完全覆蓋有ULPA過濾器，空氣從上到下吹送，可以達(dá)到更高的潔凈度。生產(chǎn)過程中或工作人員產(chǎn)生的粉塵可快速排到室外，不影響其他工作區(qū)域。

優(yōu)點(diǎn)：易于管理，運(yùn)行開始后短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)，不易受運(yùn)行狀態(tài)或操作者的影響。

缺點(diǎn)：施工成本高，空間靈活利用困難，吊頂占用空間大，過濾器維護(hù)更換麻煩。

復(fù)合型是湍流和層流的組合或組合，可提供局部超潔凈空氣。

（1）河南凈化工程潔凈隧道：采用HEPA或ULPA過濾器100%覆蓋工藝區(qū)或工作區(qū)，將潔凈度提高到10級(jí)以上，可節(jié)省安裝和運(yùn)行成本。這種類型需要將操作人員的工作區(qū)域與產(chǎn)品和機(jī)器維護(hù)隔離，以免在機(jī)器維護(hù)過程中影響工作和質(zhì)量。大多數(shù) ULSI 工藝都使用這種類型。

潔凈隧道還有另外兩個(gè)優(yōu)點(diǎn)： A. 易于彈性擴(kuò)展； B、維護(hù)設(shè)備時(shí)，可在維護(hù)區(qū)輕松進(jìn)行。

（2）潔凈管：河南凈化工程對(duì)產(chǎn)品流經(jīng)的自動(dòng)化生產(chǎn)線進(jìn)行包圍凈化，將潔凈度提高到100級(jí)以上。由于產(chǎn)品、操作人員和發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量送風(fēng)可以達(dá)到良好的清潔度，可以節(jié)省能源，不需要人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線是比較合適的。適用于制藥、食品和半導(dǎo)體行業(yè)。

（3）河南凈化工程與局部潔凈室（Clean Spot）相結(jié)合：將潔凈室等級(jí)為10000~100000級(jí)的湍流潔凈室的產(chǎn)品工藝區(qū)潔凈度等級(jí)提高到10~1000級(jí)以上供生產(chǎn)使用；潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚和潔凈罩屬于這一類。